تصنيع نماذج أولية بسيطة ومنخفضة التكلفة باستخدام الطباعة الحجرية الضوئية

الملخص

يصف هذا العمل التحسينات التي أدخلت على العملية الأصلية، بما في ذلك انخفاض تكلفة التصنيع. لقد نجحت في التغلب على جميع العقبات الرئيسية التي توفرها خارطة طريق صناعة أشباه الموصلات. ولتحقيق ذلك، فقد شهدت تعديلات كبيرة ووسعت بشكل كبير حدود البحوث والهندسة البصرية والإلكترونية. تعد الطباعة الحجرية الضوئية هي المرحلة الأساسية في عملية تصنيع أشباه الموصلات التي تحدد جودة الرقاقة. نظرًا لأن عملية التصنيع عبارة عن عملية دفعية ذات جودة شرائح متفاوتة، فقد كان التوحيد دائمًا هو الهدف الأساسي للعملية. تركز دراسة الحالة هذه على تحسين خطوة الطباعة الحجرية الضوئية من أجل تحسين التوحيد وإنجاز الأبعاد الحرجة، وكلاهما معلمات جودة لأجهزة أشباه الموصلات. ينبغي فحصها لتحسين التحسين. ستناقش هذه الورقة أحدث التحسينات في عملية الطباعة الحجرية الضوئية، بالإضافة إلى دمج مجموعة متنوعة من أساليب تحسين الدقة. يتم تطبيق طبقة مقاومة للضوء (فيلم جاف حساس للضوء 1 متر للصفائح المقاومة للضوء بعرض 30 سم) على المادة المراد نقشها. تتعرض الطبقة المقاومة للضوء للأشعة فوق البنفسجية من خلال القناع. تكتمل هذه المرحلة باستخدام مصفف القناع، الذي يقوم بمحاذاة القناع والرقاقة قبل مرحلة التعرض اللاحقة. اعتمادًا على جيل مصففات القناع، يتم ملامسة القناع والركيزة أو قربهما (طباعة التلامس والقرب). اعتمادًا على ما إذا كان تم استخدام مقاوم الضوء الإيجابي أو السلبي، تمت إزالة مكونات مقاوم الضوء المكشوفة أو غير المكشوفة أثناء عملية تطوير المقاومة. يتم إنشاء تصميم القناع، ويمكنه إنتاج تصميمات قناع مختلفة بمقياس المستوى الصغير (um) كملف DWG بواسطة برنامج AutoCAD. يتم تحويل ملف DWG إلى ملف PDF باستخدام محول PDF. تتم طباعة تصميم قناع ملف PDF الناتج كفيلم إيجابي. في هذه التجربة تم استخدام طبقة موحدة من الزجاج كركيزة، وتم ترسيب الألمنيوم بطول 2.5 سم وعرض 2.5 سم وسمك 0.2 سم.